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        實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀

        實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀

        • 產(chǎn)品型號(hào):LEM-CT-670-G50
        • 更新時(shí)間:2024-03-19
        • 產(chǎn)品介紹:概要
          實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí),使用干涉測(cè)量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。基于這個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。
        • 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

        產(chǎn)品介紹

        概要

        實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí),使用干涉測(cè)量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。基于這個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

        特征

        •  兩種類型的激光器,可兼容大范圍的薄膜,包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
        • 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
        • 終點(diǎn)檢測(cè)法的靈活應(yīng)用。
        • *的加工特點(diǎn)。

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